发明公开
- 专利标题: 半导体器件以及制造半导体器件的方法
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申请号: CN202080002210.8申请日: 2020-04-30
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公开(公告)号: CN113875019A公开(公告)日: 2021-12-31
- 发明人: 郝荣晖 , 黄敬源
- 申请人: 英诺赛科(苏州)半导体有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号
- 专利权人: 英诺赛科(苏州)半导体有限公司
- 当前专利权人: 英诺赛科(苏州)半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号
- 代理机构: 深圳宜保知识产权代理事务所
- 代理商 王琴; 曹玉存
- 国际申请: PCT/CN2020/088486 2020.04.30
- 国际公布: WO2021/217651 EN 2021.11.04
- 进入国家日期: 2020-09-30
- 主分类号: H01L29/778
- IPC分类号: H01L29/778 ; H01L29/06
摘要:
半导体器件包括第一半导体层、第二半导体层、源极、漏极、栅极结构和第一p型掺杂III‑V族化合物/氮化物半导体层。第二半导体层设置于第一半导体层上,并且具有的带隙大于第一半导体层的带隙。源极和漏极设置于第二半导体层上。栅极结构设置于第二半导体层上且于源极和漏极之间。第一p型掺杂III‑V族化合物半导体层设置于第二半导体层上且于栅极结构和漏极之间,且漏极至少部分地覆盖p型掺杂层,使得第一p型掺杂III‑V族化合物层和漏极彼此电气耦合。
公开/授权文献
- CN113875019B 半导体器件以及制造半导体器件的方法 公开/授权日:2024-07-02
IPC分类: