降低IC封装不良率的球形硅微粉的制备方法
摘要:
本发明公开了一种降低IC封装不良率的球形硅微粉的制备方法。所述方法先分别将不同粒径的角形硅微粉A1和A2进行加热球形化,得到不同粒径的球形硅微粉Q1、Q2、Q3、Q4,然后将球形硅微粉Q1、Q3加热处理后经过粗效分级去除大颗粒和团聚物,再经过精密筛分彻底去除大颗粒和团聚物得到Q5、Q6,最后按Q6、Q2、Q5、Q4的投料顺序,按配比混合均化得到高填充、低团聚的球形硅微粉。本发明制备的球形硅微粉的球化率在95%以上,具有高纯度、高填充量、高流动性,能有效降低IC封装不良率,可广泛地应用于绝缘材料、电子材料等领域中。
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