发明公开
- 专利标题： 镀膜机的设备监测方法、装置及镀膜机
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申请号： CN202111152527.2申请日： 2021-09-29
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公开(公告)号： CN113897587A公开(公告)日： 2022-01-07
- 发明人: 冀鸣 , 易洪波 , 刘伟基 , 赵刚
- 申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
- 申请人地址： 广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南33号力合科技产业中心加速器项目69栋第三层301单元(住所申报);
- 专利权人： 佛山市博顿光电科技有限公司,中山市博顿光电科技有限公司
- 当前专利权人： 佛山市博顿光电科技有限公司,中山市博顿光电科技有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南33号力合科技产业中心加速器项目69栋第三层301单元(住所申报);
- 代理机构： 北京市立方律师事务所
- 代理商 刘延喜
- 主分类号： C23C14/54
- IPC分类号： C23C14/54 ; C23C14/24
摘要：
本申请实施例提供了一种镀膜机的设备监测方法、装置及镀膜机。所述方法包括：获取在镀膜过程中镀膜机腔室内的多媒体数据；根据所述多媒体数据，确定所述镀膜机腔室内的待测机构的状态信息；当检测到所述待测机构的状态信息满足预设的异常状态条件时，发出相应的第一告警信息。本申请用以解决现有技术无法及时发现镀膜机腔室内设备机构的异常情况的技术问题。
公开/授权文献
- CN113897587B 镀膜机的设备监测方法、装置及镀膜机 公开/授权日：2024-03-01
IPC分类:
