本发明公开了一种探针测试座、测试系统和方法，探针测试座包括底座组件、承载台和顶盖组件。底座组件具有一贯穿至少一部分多个层结构体的主气道，至少由承载台限定形成独立的压缩气道和真空气道，压缩气道的一端与主气道连通，另一端与测试腔室连通，真空气道的一端与主气道连通，另一端与承载面连通，且压缩气道以单向导通的方式设置，能够向测试腔室充入压缩气体。由主气道、真空气道以及压缩气道所构成的气道结构有利于实现较好的气密性，能够有效地减少气体泄漏的风险，从而能在测试腔室中形成稳定的高气压环境，有利于对功率型器件芯片进行高电压测试，从而能够有效地降低功率型器件芯片测试的质量风险。