静电型设备及静电型设备制造方法
摘要:
振动发电元件具备:固定部;可动部;弹性支承部,其与所述可动部一体形成,弹性支承所述可动部;以及玻璃制的基座部,其将所述固定部与所述弹性支承部以相互分离的状态进行了阳极接合。
0/0