本发明属于太阳能电池技术领域，尤其涉及一种在太阳能电池基底表面制备电极膜层的方法。该方法包括以下步骤：a)在真空条件下将金属电极材料加热熔融，得到金属电极材料熔体；b)用离子源低能轰击所述金属电极材料熔体，使其溅射沉积在太阳能电池基底表面，形成电极膜层；所述低能轰击的能量为30～80eV。本发明提供的方法不需要将电极材料加热至蒸发态，可以显著减少电极材料沉积过程中的热辐射，降低基底的热辐射损伤；同时，由于该方法采用的是低能粒子轰击，因此还可以有效避免高能粒子轰击对基底造成的冲击损伤。本发明提供的方法可以有效减少电极膜层制备过程中对太阳能电池基底的损伤，且能耗较低，具有良好的市场前景。