本技术公开了一种基于二氧化硅波导的混合集成量子随机数发生器，包括随机数光学结构，所述随机数光学结构包括混合集成基板，所述混合集成基板上固定有激光器芯片一、探测器芯片一和PLC波导，所述PLC波导上设有50:50分束模块二、波导延时模块和50:50合束模块二，所述50:50分束模块二通过两个波导光路与50:50合束模块二连接且其中一个波导光路上设有波导延时模块；所述PLC波导为硅基二氧化硅波导。本技术可以最终实现低成本、高稳定性、小体积的量子随机数发生器，从而推进量子随机数发生器的应用领域的拓宽和发展。