本发明公开了一种无污染生物质微波无氧碳化生产碳材料的方法及装置，该方法在惰性气体保护环境下，利用微波与金属放电形成的微波等离子体对生物质进行高温裂解处理实现生物质的无氧碳化，并制备得到碳材料和石墨烯材料；然后再利用导电型碳材料吸附生物质无氧碳化处理过程中产生的尾气中的有害物质，并利用微波与金属放电形成的微波等离子体对吸附的有害物质进行高温裂解处理，以实现对尾气的净化。本发明不仅能够实现生物质的高效、无污染、零排放处理，同时能实现生物质的再生利用。