一种零排放的绝缘气体净化处理装置及方法，属于电气设备SF6净化处理技术领域，解决现有技术中SF6/N2混合气体进行回收分离提纯时，得到的SF6产品气浓度低且不能做到SF6气体的零排放的问题；本发明的技术方案通过液态SF6回收管路、混合气体分离提纯管路对液态SF6和气态的SF6/N2混合气体的进行分离、回收、提纯，处理后SF6气体纯度提高至99％以上，可直接回充至设备再利用，具有良好的环境效益和社会效益；且在提纯的过程中，采用测量及尾气收集管路对SF6提纯的结果以及排空口的气体SF6浓度进行实时分析监测，浓度测量装置产生的尾气通过尾气收集装置循环回收提纯，达到零排放的效果。