用于微流体的温度补偿微带传感器
摘要:
本发明公开了用于微流体的温度补偿微带传感器,包括介质基板,基板底面刻蚀裂环谐振器并设置微带部分,微带部分包括两条主微带线和两条分支微带线,两条分支微带线围成矩形状且两侧分别与同侧的主微带线形成T型结,主微带线的另一端为端口;基板顶层刻蚀两个互补裂环谐振器,每条分支微带线分别激励一个互补裂环谐振器;互补裂环谐振器设有液体注入口和液体流出口,液体注入口与液体流出口之间的介质基板上刻蚀有曲折槽;PDMS微流控通道基板置于两个互补裂环谐振器上方,PDMS微流控通道基板设有测试通道和参考通道,测试通道、参考通道分别与两互补裂环谐振器的曲折槽重叠且严格对齐,参考通道用作参考,测试通道用于注入二元混合液体时进行测试。
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