一种电压调制变波段光电探测器及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种电压调制变波段光电探测器及其制作方法,该光电探测器为雪崩型光电探测器,导电薄膜作为第一电极,二维材料作为载流子阻挡层,具有纳米阵列结构的半导体材料作为光子吸收层,因此外部辐射光子更容易被光子吸收层捕获,产生光生载流子,光生载流子被载流子阻挡层阻挡并在载流子阻挡层及两侧形成强电场,使得载流子被强电场加速实现雪崩增益,同时,强电场调控光生电子跃迁路径以改变光子吸收层响应的光子波长,以此可以获得一种高响应度,并且无需滤光片、更换半导体材料即可实现探测波段可调的光电探测器件,有助于提高器件对微弱光信号的探测能力和适用性。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L31/00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备;其零部件(H01L51/42优先;由形成在一共用衬底内或其上的多个固态组件,而不是辐射敏感元件与一个或多个电光源的结合所组成的器件入H01L27/00)
H01L31/08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31/10 ..特点在于至少有一个电位跃变势垒或表面势垒的,例如光敏晶体管
H01L31/101 ...对红外、可见或紫外辐射敏感的器件
H01L31/102 ....仅以一个势垒或面垒为特征的
H01L31/107 .....以雪崩模式工作的势垒,如雪崩光二极管
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