一种Ta-C类金刚石涂层制备方法及其应用
Abstract:
本申请涉及PCB钻孔领域,具体公开了一种Ta‑C类金刚石涂层制备方法及其应用。一种Ta‑C类金刚石涂层的制备方法,包括以下步骤:S1.清洗基材;S2.采用磁过滤真空阴极电弧技术,将基材放入真空环境中,然后通入氩气,开偏压,基材偏压为550~650V,进行离子轰击,时间1600~1900s;S3.关氩气,抽真空,再通入氩气,然后以碳靶为靶材,基材偏压300~500V,碳靶电流为60~70A,沉积200~350s;S4.梯度式降低基材偏压至30~60V,然后继续沉积1800~2100s;S5.冷却,得到类金刚石涂层。本申请的制备方法具有提高微径刀具的使用寿命,降低生产成本的优点。
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