Invention Grant
- Patent Title: 一种Ta-C类金刚石涂层制备方法及其应用
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Application No.: CN202111200470.9Application Date: 2021-10-15
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Publication No.: CN114000105BPublication Date: 2022-09-06
- Inventor: 龙丹 , 林勇刚 , 王立利
- Applicant: 科汇纳米技术(深圳)有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市宝安区福永街道桥头社区重庆路2号第2栋第二层厂房
- Assignee: 科汇纳米技术(深圳)有限公司
- Current Assignee: 科汇纳米技术(东莞)有限公司
- Current Assignee Address: 523000 广东省东莞市长安镇厦岗福海路52号11号楼201室
- Agency: 北京维正专利代理有限公司
- Agent 黄勇; 任志龙
- Main IPC: C23C14/06
- IPC: C23C14/06 ; C23C14/32 ; B23B51/00
Abstract:
本申请涉及PCB钻孔领域,具体公开了一种Ta‑C类金刚石涂层制备方法及其应用。一种Ta‑C类金刚石涂层的制备方法,包括以下步骤:S1.清洗基材;S2.采用磁过滤真空阴极电弧技术,将基材放入真空环境中,然后通入氩气,开偏压,基材偏压为550~650V,进行离子轰击,时间1600~1900s;S3.关氩气,抽真空,再通入氩气,然后以碳靶为靶材,基材偏压300~500V,碳靶电流为60~70A,沉积200~350s;S4.梯度式降低基材偏压至30~60V,然后继续沉积1800~2100s;S5.冷却,得到类金刚石涂层。本申请的制备方法具有提高微径刀具的使用寿命,降低生产成本的优点。
Public/Granted literature
- CN114000105A 一种Ta-C类金刚石涂层制备方法及其应用 Public/Granted day:2022-02-01
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IPC分类: