一种电荷测试装置及方法
摘要:
本申请公开了一种电荷测试装置、方法;在对待检测对象施加纳秒脉冲电压信号时,采用脉冲下电极电容耦合的方式对待检测对象注入纳秒脉冲电压信号,可引起待检测对象在加压极化过程中产生的界面电荷的振动,当待检测对象的界面电荷在纳秒脉冲电压信号的刺激下产生振动后会产生界面电荷的声信号。压电传感器与下电极的下表面粘接,压电传感器可以用于将下电极的下表面的界面电荷的声信号转换为界面电荷的电压信号,而待检测对象在加压极化过程中产生的电流不会被纳秒脉冲电压信号刺激而引起振动,相比从上电极注入纳秒脉冲电压信号的方式,本申请可以有效隔绝电流信号的干扰,以实现压电传感器收集的仅为待检测对象的界面电荷产生的声信号。
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