本发明提供一种柔性有机发光半导体器件阳极结构，包括：柔性基底，柔性基底的上表面覆盖有第一金属氧化物层；合金层，合金层位于第一金属氧化物层上方并覆盖第一金属氧化物层的上表面；金属层，金属层位于合金层上方并覆盖合金层的上表面，通过合金层隔离金属和第一金属氧化物层并促进金属层连续成膜；第二金属氧化物层，第二金属氧化物层位于金属层上方并覆盖金属层的上表面，通过第二金属氧化物层隔离金属层与外部空气；柔性基底、第一金属氧化物层、合金层、金属层和第二金属氧化物层组成柔性有机发光半导体器件阳极。有益效果是本发明的柔性有机发光半导体器件阳极结构的总厚度控制在110nm以下，缩短镀膜时间，提高光的取出效率，减少光损失。