一种TopCon电池的制备方法
摘要:
本发明提供了一种TopCon电池的制备方法。与现有技术相比,本发明在TopCon电池正面层积氧化镓,氧化镓可以钝化表面,同时利用氧化镓作为正面P+掺杂剂的来源,镓元素在硅中有较快的扩散系数,再搭配激光进行正面掺杂,可以实现局部的镓元素掺杂,从而实现金属接触区的重掺杂,降低接触电阻,同时实现受光区的轻掺杂,降低表面俄歇复合,提升开路电压,提升填充因子FF,提升电池效率。并且该方法不需要另外提供掺杂剂来源,只需要在正面氧化镓层积后,增加激光掺杂工序,简化了TopCon电池的制备工序,有利于降低成本。
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