发明公开
CN114050105A 一种TopCon电池的制备方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种TopCon电池的制备方法
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申请号: CN202210034770.2申请日: 2022-01-13
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公开(公告)号: CN114050105A公开(公告)日: 2022-02-15
- 发明人: 余浩 , 方灵新 , 单伟 , 何胜 , 徐伟智 , 黄海燕 , 陆川
- 申请人: 海宁正泰新能源科技有限公司
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区吉盛路1号
- 专利权人: 海宁正泰新能源科技有限公司
- 当前专利权人: 海宁正泰新能源科技有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区吉盛路1号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 张雪娇
- 主分类号: H01L21/268
- IPC分类号: H01L21/268 ; H01L21/225 ; H01L31/18 ; H01L31/0216
摘要:
本发明提供了一种TopCon电池的制备方法。与现有技术相比,本发明在TopCon电池正面层积氧化镓,氧化镓可以钝化表面,同时利用氧化镓作为正面P+掺杂剂的来源,镓元素在硅中有较快的扩散系数,再搭配激光进行正面掺杂,可以实现局部的镓元素掺杂,从而实现金属接触区的重掺杂,降低接触电阻,同时实现受光区的轻掺杂,降低表面俄歇复合,提升开路电压,提升填充因子FF,提升电池效率。并且该方法不需要另外提供掺杂剂来源,只需要在正面氧化镓层积后,增加激光掺杂工序,简化了TopCon电池的制备工序,有利于降低成本。
IPC分类: