浮栅存储器及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种浮栅存储器,包括衬底、绝缘介质层、缓冲层、沟道层、隧穿层、源极、漏极、浮栅层、阻挡层、栅极和栅极接触材料层,所述缓冲层覆盖所述绝缘介质层背向所述衬底的一面,所述沟道层覆盖所述缓冲层背向所述绝缘介质层的一面,所述隧穿层覆盖所述沟道层背向所述缓冲层的一面的部分,所述浮栅层覆盖所述隧穿层背向所述沟道层的一面,所述阻挡层覆盖所述浮栅层背向所述隧穿层的一面,所述栅极覆盖所述阻挡层背向所述浮栅层的一面,能够利用二维材料无悬挂键的优势,减小界面缺陷,降低了所述浮栅存储器的阈值电压,进而降低所述浮栅存储器的功耗。本发明还提供了所述浮栅失存储器的制备方法。
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