一种用于清洁污染控制装置(诸如颗粒去除装置等，包括湿静电除尘器)的方法和设备。该设备可包括：壳体、至少一个工艺气体入口、工艺气体出口、该壳体中的一个或更多个电离电极，以及外壳中的一个或更多个收集电极或板，该外壳具有腔室，该至少一个工艺气体入口与该腔室流体连通，该工艺气体出口与该至少一个工艺气体入口间隔开并且与该腔室流体连通。该壳体可与密封液体源(诸如水源等)流体连通。提供密封液体并引入腔室，密封液体的量足以浸没至少一个工艺气体入口并阻止受污染的气体流进入腔室中。因此，受污染的气体被引至颗粒去除装置的不经历冲洗的其他(模块)区域，在不经历冲洗的其他区域或模块中颗粒可以继续被去除，并且不再接纳工艺气体的模块可以被清洁以及随后密封液体被排出。