本发明公开了一种CVD用陶瓷基板超声清洗装置，涉及超声波清洗设备技术领域，包括外箱、超声波清洗内箱、减震机构、水循环机构、左固定机构和右活动机构，所述外箱内设有上腔和下腔，所述减震机构安装在上腔内，所述水循环机构安装在下腔内且与超声波清洗内箱相连通，所述超声波清洗内箱内设有定位杆和传动杆，所述超声波清洗内箱的内底部设有联动机构，所述联动机构与左固定机构和右活动机构传动连接，所述超声波清洗内箱内还设有控制电机，所述外箱的顶部设有转动门，该转动门内设有烘干风机。本发明能够满足不同大小的陶瓷基板放置定位步骤，便于后续其清洗作业，实用性较强，并且实现清洗水的循环，减少资源的浪费，提高了清洗效果。