本发明涉及六氟化硫回收装置技术领域，是一种六氟化硫回收净化装置，其包括存储罐、至少一个精馏柱、至少一个制冷机组和至少两个分子筛塔，两个以上分子筛塔相互串联；沿气体流动方向，最左方的分子筛塔下部进气端连通有进气管，最右方的分子筛塔上部出气端与存储罐中部进气端通过脱水管连通。本发明结构合理而紧凑，使用方便，其通过分子筛塔除去待净化气体中的水分等，精馏柱用于对待净化气体提纯净化处理，精馏得到的轻组分经出轻组分尾气管排出，其精馏得到的重组分六氟化硫气体遗留在存储罐中，制冷机组对精馏结束后气体进行冷凝处理，通过本装置回收的六氟化硫气体的浓度高。