本申请提供一种系统可靠性分析方法、装置和设备，方案首先对所述目标系统的故障进行故障模式及影响分析，得到所述目标系统中各个组件的各个故障模式，再获取所述故障模式对应的N组严酷度评估值、可能性评估值与可探测性评估值，计算每个所述故障模式对应严酷度评估值、可能性评估值与可探测性评估值的加权平均值，最后将所述严酷度评估值、可能性评估值与可探测性评估值的加权平均值作为输入数据，对每个所述故障模式进行危害性分析，得到每个所述故障模式的危害性预测值，将所述危害性预测值作为所述目标系统的可靠性指标，实现了目标系统的可靠性预测。