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一种可拆卸式离子束加速管
摘要:
本发明公开了一种可拆卸式离子束加速管,包括:高压绝缘子,用于引入初聚电压;加速腔,包括螺丝连接的输入法兰、多级绝缘环以及输出法兰;每级绝缘环均为一体成型的99瓷结构,且外壁上釉;每两级绝缘环的相接位置套设一均压环,该均压环与加速腔内对应的一个屏蔽电极相连;加速腔内沿离子束行进方向通过螺丝依次安装有初聚电极、中间电极以及地电极;初聚电极通过高压绝缘子连接初聚电压,中间电极连接位于加速腔内部中间的一个屏蔽电极;地电极连接输出法兰并接地;抑制磁铁,安装于输出法兰的出口处并接地。该离子束加速管结构紧凑,在真空中放气量低,短时间内即可达到极限真空,且该离子束加速管可拆卸。
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