本发明属于SF6气体检测技术领域，具体是一种SF6气体湿度在线测试装置、方法及测试系统。测试装置直接与对应被测气室固定连接，无需连接较长的管道，气体流量得以稳定保证。对不同气室进行气体测试，无需对笨重的SF6气体综合测试仪进行挪动搬运，通过微控制器自动计算对应SF6气体的湿度并通过无线通信模块进行远程传输数据，实现了快速、方便地测试SF6气体的湿度，极大的提高了工作效率。在SF6气体进入测量室前进行除尘，避免SF6气体污染测量镜，影响测试效果。测试方法采用压力、温度进行修正测试结果，得到准确的湿度测量数据。测试系统可以同时测量多个SF6气体的湿度，无需一一测试，费时费力，而且对于测试后的气体进行净化回收，避免浪费。