一种多组复合高频高压静电电源
摘要:
本发明提供一种多组复合高频高压静电电源,其通过多组复合技术与高频电源技术相结合,直接通过调节母线电压,降低输出的峰值电压电流,通过脉冲控制谐振逆变电路工作输出脉冲电流,同时两组串联谐振逆变电路协同工作,提高脉冲电流的脉冲频率,就得到了多组复合高频高压静电电源。本发明降低了单个脉冲电压电流幅值,提升总脉冲个数,解决高频电源都在特殊工况的应用问题,提升高频电源的适应能力。
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