一种TVS芯片及其玻璃钝化方法、制造方法
摘要:
一种TVS芯片及其玻璃钝化方法、制造方法,玻璃钝化方法包括:涂覆步骤,通过刀刮法在沟槽表面涂覆玻璃浆;烘烤步骤,在第一预设温度下进行烘烤,挥发液体粘合剂;预烧结步骤,烘烤步骤结束后在第二预设温度下进行预烧结,热分解固体粘合剂;烧结步骤,预烧结步骤结束后在第三预设温度下进行烧结,烧结玻璃粉,得到玻璃钝化层。由于在进行烧结之前,通过低温烘烤的方式,将液体粘合剂进行烘烤挥发,在此过程中,由于毛细现象,玻璃浆沿着沟槽侧壁往上流动,使烘干后的沟槽底部玻璃浆变薄,沟槽侧壁的PN结区域的玻璃浆变厚。因此,采用一次刀刮法的玻璃钝化工艺,即可保证沟槽侧壁的玻璃钝化层厚度满足要求,节省了玻璃粉的成本,提高了涂覆效率。
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