一种具有空气隔热层的微型多层隔热结构及其制备和应用
摘要:
本发明涉及一种具有空气隔热层的微型多层隔热结构及其制备和应用,该多层隔热结构包括衬底,以及依次复合在衬底上的反射层、支撑柱、隔热层和反射层,且支撑柱与反射层之间、反射层与衬底之间均设有一层粘结层。与现有技术相比,本发明的制备条件可控,性能优异,有望在微电子器件隔热防护和电路保护外壳等方面有巨大的应用前景。
0/0