一种可光刻玻璃及其微结构加工方法
摘要:
提供了一种可光刻玻璃及其微结构加工方法。以质量份数计,所述可光刻玻璃包括以下组分:SiO2 75~79份,Li2O 7~11份,Al2O3 3~4.5份,B2O3 3~6份,K2O和KBr 2~3份,Na2O 1~2.5份,ZnO 1~1.2份,Sb2O3 0~0.02份,Ce2O3 0.01~0.1份,Ag2O 0.1~0.15份。采用本发明的可光刻玻璃,通过优化玻璃组分和熔制工艺,提高了玻璃材料的均匀性及热加工性能,提高了玻璃材料在温度场中发生形变的均匀性。
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