发明授权
- 专利标题： 一种石墨烯功能化硅基探针的制备方法
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申请号： CN202111401739.X申请日： 2021-11-19
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公开(公告)号： CN114217097B公开(公告)日： 2024-03-05
- 发明人: 卢明明 , 赵宇亮 , 徐建勋 , 王嘉豪 , 畅泽君
- 申请人： 国家纳米科学中心
- 申请人地址： 北京市海淀区中关村北一条11号
- 专利权人： 国家纳米科学中心
- 当前专利权人： 国家纳米科学中心
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区中关村北一条11号
- 代理机构： 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 朱芳
- 主分类号： G01Q60/38
- IPC分类号： G01Q60/38 ; G01Q60/42 ; G01Q70/16 ; G01Q70/18
摘要：
本发明提供一种石墨烯功能化硅基探针的制备方法。本发明提出的石墨烯功能化硅基探针，采用离子液对探针样品进行碳化预处理，利用预先在探针表面镀上的碳层对硅基针尖进行保护，在石墨烯生长的高温淬火过程中，有效避免了金属镀层与硅基探针之间的反应，使得石墨烯成功在探针表面生长的同时，维持了探针针尖形貌，针尖表面平整，针尖直径保持纳米尺寸。本发明方法制备的石墨烯功能化硅基探针拥有优良的针尖锐利度、导电性能和抗氧化性。
公开/授权文献
- CN114217097A 一种石墨烯功能化硅基探针的制备方法 公开/授权日：2022-03-22
