本发明提供了一种测量试片极化电位的方法和装置，方法包括：获得第一交流电流源信息；对第一试片进行电流信息采集，获得第一交流电流值和第一直流电流值；对第一试片进行信息采集，获得第一交流电压和第一对地电位；将第一交流电流源置为开启状态，对所述第一试片进行电流信息采集，获得第二交流电流值和第二直流电流值；对第一试片进行信息采集，获得第二交流电压和第二对地电位；将第一交流电流值、第一直流电流值、第一交流电压、第一对地电位设为第一记录数据，将第二交流电流值、第二直流电流值、第二交流电压、第二对地电位设为第二记录数据；根据第一预设极化电位计算规则对第一记录数据和第二记录数据处理，获得第一极化电位。