发明公开
- 专利标题： 一种大面积AOI线扫相机机构
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申请号： CN202210204329.4申请日： 2022-03-03
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公开(公告)号： CN114268729A公开(公告)日： 2022-04-01
- 发明人: 林邦羽 , 朱斌
- 申请人： 立川(深圳)智能科技设备有限公司
- 申请人地址： 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区富桥四区6栋301
- 专利权人： 立川(深圳)智能科技设备有限公司
- 当前专利权人： 立川（珠海）智能科技设备有限公司
- 当前专利权人地址： 519075 广东省珠海市香洲区永田路366号1-2层
- 代理机构： 深圳汉林汇融知识产权代理事务所
- 代理商 王淼
- 主分类号： H04N5/225
- IPC分类号： H04N5/225 ; H04N5/232 ; G01N21/88 ; H01L21/66
摘要：
本发明涉及一种大面积AOI线扫相机机构，通过对X、Y、Z轴进行微调的同时，还能通过转轴带动整体进行任意角度的旋转，基于此设置，将转轴通过联轴器连接在伺服电机上，通过控制伺服电机的转动来控制转轴的转动以控制整体的旋转角度，可以对晶圆的制作过程进行全程的追踪，因此只需要一个机构就能完成一个晶圆制作点的整个过程追踪检测。
公开/授权文献
- CN114268729B 一种大面积AOI线扫相机机构 公开/授权日：2022-04-29
