流体控制阀
摘要:
本发明提供流体控制阀,在具有压电元件以及放大压电元件的位移的机械放大器的流体控制阀中,实现施加于压电元件的剪切力的降低。流体控制阀具有:壳体,其具有内室和成为流体的出入口的开口;压电元件,其能够沿着伸缩轴伸缩;以及机械放大器,其放大压电元件的位移,使对开口进行开闭的阀部位移,机械放大器包含:支承部,其设置于壳体,与压电元件的伸缩轴的轴向一端连接;位移部,其与压电元件的轴向另一端结合;臂,其在一端与位移部连接,在中间部经由能够变形的放大器铰链部与支承部连接,在另一端对一个开口进行开闭;以及平衡机构,其施加与因压电元件的伸长而施加于位移部的垂直于伸缩轴的方向的载荷相反朝向的载荷。
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