发明授权

微芯片
摘要:
提供有效地抑制贴合后的接合基板的剥离,难以液体泄漏的微芯片。微芯片具有具备主面以及侧面的多个基板。多个基板的主面彼此贴合,形成接合基板,并在接合基板的内部具备微流路。多个基板由厚度较大的第一基板、与第一基板相比厚度较小的其余的基板构成。在从与主面平行的方向观察接合基板的一端部时,至少第一基板的侧面具有梯度,并且侧面延伸至最外侧。
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