发明公开
CN114324176A 怀特池及其工作方法
审中-实审
- 专利标题: 怀特池及其工作方法
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申请号: CN202111631253.5申请日: 2021-12-29
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公开(公告)号: CN114324176A公开(公告)日: 2022-04-12
- 发明人: 陈超 , 刘立鹏 , 陈群群 , 王越峰 , 周新奇 , 李锐
- 申请人: 杭州谱育科技发展有限公司
- 申请人地址: 浙江省杭州市临安区青山湖街道科技大道2466-1号
- 专利权人: 杭州谱育科技发展有限公司
- 当前专利权人: 杭州谱育科技发展有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市临安区青山湖街道科技大道2466-1号
- 主分类号: G01N21/03
- IPC分类号: G01N21/03
摘要:
本发明提供了怀特池及其工作方法,所述怀特池包括壳体、第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜;还包括:第一组气体通道设置在壳体上,出口连通所述第一开口端;所述第二反射镜和第三反射镜分别固定在承载件,承载件设置在支架上;支架固定在第二端盖上,第一密封件设置在支架和第二端盖之间;支架与壳体的内壁间密封;第二组气体通道设置在所述支架上,用于连通所述壳体内部与处于支架和第二端盖之间的夹层;第二端盖用于封闭所述壳体的第二开口端,第二端口的内侧具有凹槽,第一组气体通道的进口连通所述凹槽;第一开口设置在所述第二端盖上,与所述凹槽连通,第二开口设置在所述第二端盖上,与所述夹层连通。本发明具有工作稳定等优点。