柔性薄膜流体分配装置
摘要:
一种柔性薄膜流体分配装置,包括:(A)至少一个柔性薄膜衬垫构件,具有3.6e‑10Nm至2Nm的柔性特性;(B)刚性框架构件,用于接收所述柔性薄膜衬垫构件,并在流体流过所述柔性流体分配装置时使所述柔性薄膜衬垫构件可拆卸地固定在位;以及(C)连接装置,用于使所述柔性薄膜流体分配装置连接至流体生产工艺线的出口进给流;制造上述柔性薄膜流体分配装置的工艺;以及使用上述柔性薄膜流体分配装置分配流体的工艺。
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