本发明公开了一种己内酰胺蒸馏抽真空方法及其装置。本发明采用干式真空泵为抽真空设备，己内酰胺熔融液通过蒸馏塔底加热器用蒸汽加热，在高真空下己内酰胺蒸发再塔顶冷凝回收，得到己内酰胺成品，未冷凝的水、己内酰胺气体被干式真空泵抽出，经过塔外冷却器冷凝进一步己内酰胺后，不含己内酰胺的气体通过干式真空泵组抽出外排，冷凝下来的己内酰胺回到系统再利用。采用干式真空泵为抽真空设备方法及装置能替换传统的蒸汽喷射泵抽真空设备，节约蒸汽，减少系统蒸汽冷凝水，节省投资和操作费用，具有很好的工业应用价值。