本申请提供一种增透膜及其制备方法、增透膜制备装置，增透膜制备方法包括以下步骤：(1)配制基础溶胶，基础溶胶中包含正硅酸乙酯、乙醇和水；(2)然后向基础溶胶内通入氨气，得到含饱和氨气的溶胶；(3)将溶胶涂覆在基片的表面形成膜层；(4)使膜层处于温度为T1的含有氨气、乙醇和水的饱和蒸汽中，同时使基片远离膜层的表面的温度为T2，陈化处理2h至72h；其中，0℃＜T1≤10℃，30℃＜T2≤60℃，T1和T2的差值30℃≤ΔT＜60℃；(5)在120℃至250℃的空气中干燥固化；(6)在450℃至750℃热处理后得到增透膜。上述制备方法简单，得到的增透膜也具有良好的增透效果。