一种金属氧化物半导体气体传感器及其制备方法和应用
摘要:
本发明属于气体传感器领域,尤其涉及一种金属氧化物半导体气体传感器及其制备方法和应用。本发明提供的气体传感器包括:导电纤芯;包覆在所述导电纤芯侧面的二氧化硅包层;缠绕固定于所述二氧化硅包层表面的两个气体检测电极;包覆在所述二氧化硅包层表面的金属氧化物半导体层,两个所述气体检测电极的自由端从所述金属氧化物半导体层穿出;和设置在所述导电纤芯两端的加热电极。本发明提供的气体传感器以导电纤芯作为热源,以二氧化硅作为绝缘基底,具有热源利用率高、体积小、制备工艺简单等优点,且该气体传感器还具有一定的柔韧性,使金属氧化物半导体气体传感器的柔性可穿戴应用成为可能。
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