- 专利标题: 一种金属氧化物半导体气体传感器及其制备方法和应用
-
申请号: CN202210025951.9申请日: 2022-01-11
-
公开(公告)号: CN114354724B公开(公告)日: 2022-11-22
- 发明人: 仝召民 , 舒宏伟 , 牛峰
- 申请人: 山西大学
- 申请人地址: 山西省太原市小店区坞城路92号
- 专利权人: 山西大学
- 当前专利权人: 山西大学
- 当前专利权人地址: 山西省太原市小店区坞城路92号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 藏斌
- 主分类号: G01N27/414
- IPC分类号: G01N27/414
摘要:
本发明属于气体传感器领域,尤其涉及一种金属氧化物半导体气体传感器及其制备方法和应用。本发明提供的气体传感器包括:导电纤芯;包覆在所述导电纤芯侧面的二氧化硅包层;缠绕固定于所述二氧化硅包层表面的两个气体检测电极;包覆在所述二氧化硅包层表面的金属氧化物半导体层,两个所述气体检测电极的自由端从所述金属氧化物半导体层穿出;和设置在所述导电纤芯两端的加热电极。本发明提供的气体传感器以导电纤芯作为热源,以二氧化硅作为绝缘基底,具有热源利用率高、体积小、制备工艺简单等优点,且该气体传感器还具有一定的柔韧性,使金属氧化物半导体气体传感器的柔性可穿戴应用成为可能。
公开/授权文献
- CN114354724A 一种金属氧化物半导体气体传感器及其制备方法和应用 公开/授权日:2022-04-15