流体用的光谱分析系统以及流体分析方法
摘要:
本发明公开一种流体用的光谱分析系统,包括:样品池包括多个能串联连通的透射检测单元;光控单元用于向透射检测单元导入入射光以及接收经过透射检测单元的光;温控系统用于对各个透射检测单元内的样品的温度进行控制;光谱系统包括:MEMS微镜阵列和探测器,所述MEMS微镜阵列包括多个镜子区域,每个镜子区域与一个透射检测单元对应;每个所述镜子区域分成多列扫描单元,每列所述扫描单元反射的光耦合到所述探测器上得到该扫描单元下光的能量,每列扫描单元对应一个光谱波长单位,从而得到该所述透射检测单元对应的完整光谱。本申请中的光谱仪使用一个分光系统接收多通道的入射光,各个光路通道的采集时间间隔极短,光谱采集系统可以实现多个温度条件下使用一个光谱分光光路即可实现多路同步采集。
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