本发明涉及一种气溶胶产生装置及其微波加热装置，所述微波加热装置包括基片集成波导结构以及同轴连接器；所述同轴连接器包括内导体和外导体，所述基片集成波导结构包括依次排布的第一金属层、介质基片层和第二金属层，所述第一金属层与所述内导体连接，所述第二金属层与所述外导体连接。所述基片集成波导结构上形成有波导腔体，所述波导腔体中设置有用于供气溶胶形成基质穿过的通孔。本发明的微波加热装置基于基片集成波导技术，微波场集中于通孔内，可实现对气溶胶形成基质的快速、均匀加热，且基片集成波导结构可不与气溶胶形成基质接触，从而避免气溶胶形成基质黏连在基片集成波导结构上。