一种电容式差压传感器稳形结构
摘要:
本发明公开了一种电容式差压传感器稳形结构,包括两个第一膜座,两个第一膜座之间夹设有膜片,两个第一膜座边缘对焊连接以将膜片固定,每个第一膜座与膜片之间形成密封的感应腔,每个感应腔分别连接有引压管,每个引压管分别从相应的第一膜座密封穿出,每个第一膜座外分别设置有稳压块,稳压块与相应的第一膜座外侧边缘密封固定连接,从而围成稳压腔,稳压腔与位于膜片同侧的感应腔分居于相应的第一膜座两侧,稳压腔与同侧的感应腔或引压管连通。本发明的有益效果:对于每个第一膜座,由于其两侧的稳压腔与感应腔内液体压力始终一致,因此可以抑制高压状态下第一膜座向外变形,从而提高测量精度。
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