发明公开
- 专利标题: 一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备及抛光方法
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申请号: CN202210370678.3申请日: 2022-04-11
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公开(公告)号: CN114434305A公开(公告)日: 2022-05-06
- 发明人: 李洪波 , 宫哲 , 雷志伟 , 李玉霞 , 张田龙 , 郝存明 , 孙瑞轩 , 肖磊 , 郭朝 , 王帅 , 张翠华 , 郝虎全 , 王腾 , 赵旭 , 刘根 , 王凡 , 冯明明 , 申莉竹 , 刘泽雨
- 申请人: 河北省自动化研究所有限公司
- 申请人地址: 河北省石家庄市桥西区友谊南大街46号河北省科学院4号楼
- 专利权人: 河北省自动化研究所有限公司
- 当前专利权人: 河北省自动化研究所有限公司
- 当前专利权人地址: 河北省石家庄市桥西区友谊南大街46号河北省科学院4号楼
- 主分类号: B24B29/02
- IPC分类号: B24B29/02 ; B24B47/20 ; B24B41/06 ; B24B57/02 ; B24B49/02 ; B24B27/02 ; B24B49/16
摘要:
本发明涉及一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备,用于金刚石拉拔模具的多晶薄膜涂层不规则曲面的均匀抛光,包括工作台、对金刚石拉拔模具进行夹持的夹持装置,以及相对于金刚石拉拔模具进给方向可调、并柔性贴合于多晶薄膜涂层、以对多晶薄膜涂层进行抛光处理的抛光装置;还包括喷淋于多晶薄膜涂层表面的金刚石微粉混合液,以及对金刚石微粉混合液进行混料并输送的混料输送装置。本发明能够对金刚石拉拔模具的多晶薄膜涂层,尤其是针对多晶薄膜涂层的不规则曲面进行自动、均匀抛光,加工精度高,且加工效率高,而具有较好的使用效果。本发明还涉及一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光方法。