发明授权
- 专利标题: 可调溅射范围的磁控溅射玻璃镀膜装置
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申请号: CN202111625920.9申请日: 2021-12-28
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公开(公告)号: CN114455852B公开(公告)日: 2023-07-25
- 发明人: 倪值森 , 陈诚 , 赵琰 , 张见平 , 吴俊保
- 申请人: 凯盛信息显示材料(洛阳)有限公司
- 申请人地址: 河南省洛阳市洛龙区洛阳市伊滨区兰台路39号
- 专利权人: 凯盛信息显示材料(洛阳)有限公司
- 当前专利权人: 凯盛信息显示材料(洛阳)有限公司
- 当前专利权人地址: 河南省洛阳市洛龙区洛阳市伊滨区兰台路39号
- 代理机构: 昆明合众智信知识产权事务所
- 代理商 史凯
- 主分类号: C03C17/00
- IPC分类号: C03C17/00 ; B08B9/087 ; C23C14/35 ; C23C14/54
摘要:
本发明公开了一种可调溅射范围的磁控溅射玻璃镀膜装置,包括镀膜机构,其固定设置在支架上部;调节辊,其对称设置在镀膜机构下部;清洁块,其与容置槽相配合,且活动设置在容置槽内,并可沿容置槽轴向方向往复运动;侧刮板和正刮板,其活动设置在清洁块上,且分别与容置槽的侧面和底面紧密贴合。本发明通过镀膜机构阴极发射口对称设置调节辊,通过调节调节辊之间距离来实现对镀膜间隙宽度的调节,同时在调节辊上环形阵列多组凸块,并且凸块之间形成容置槽,超出镀膜间隙的溅射无落入到容置槽内,由于容置槽内设置了能够进行往复运动的清洁块,清洁块在往复运动的过程实现对沉积物的去除,在镀膜过程中就能实现清洁。
公开/授权文献
- CN114455852A 可调溅射范围的磁控溅射玻璃镀膜装置 公开/授权日:2022-05-10