可调溅射范围的磁控溅射玻璃镀膜装置
摘要:
本发明公开了一种可调溅射范围的磁控溅射玻璃镀膜装置,包括镀膜机构,其固定设置在支架上部;调节辊,其对称设置在镀膜机构下部;清洁块,其与容置槽相配合,且活动设置在容置槽内,并可沿容置槽轴向方向往复运动;侧刮板和正刮板,其活动设置在清洁块上,且分别与容置槽的侧面和底面紧密贴合。本发明通过镀膜机构阴极发射口对称设置调节辊,通过调节调节辊之间距离来实现对镀膜间隙宽度的调节,同时在调节辊上环形阵列多组凸块,并且凸块之间形成容置槽,超出镀膜间隙的溅射无落入到容置槽内,由于容置槽内设置了能够进行往复运动的清洁块,清洁块在往复运动的过程实现对沉积物的去除,在镀膜过程中就能实现清洁。
公开/授权文献
0/0