Invention Publication
- Patent Title: 红外成像系统探测器封装杜瓦多工位检漏系统及方法
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Application No.: CN202111598480.2Application Date: 2021-12-24
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Publication No.: CN114459697APublication Date: 2022-05-10
- Inventor: 刘筱文 , 蔡宇宏 , 韩仙虎 , 王毅 , 李小金 , 秦丽丽 , 马敏 , 马凤英
- Applicant: 兰州空间技术物理研究所
- Applicant Address: 甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号
- Assignee: 兰州空间技术物理研究所
- Current Assignee: 兰州空间技术物理研究所
- Current Assignee Address: 甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号
- Main IPC: G01M3/20
- IPC: G01M3/20
Abstract:
本发明公开了一种红外成像系统探测器封装杜瓦多工位检漏系统及方法。本发明利用真空标准小漏孔实现了探测器封装杜瓦的密封性的精确检查,采用比对法能够筛查出漏率范围位于10‑5‑10‑12Pa·m3/s之间的探测器封装杜瓦,利用累积法能够筛查出漏率范围位于10‑13‑10‑15Pa·m3/s之间的探测器封装杜瓦,且探测器封装杜瓦的平均检漏时间≤30min,检漏灵敏度高,检漏范围宽,检漏效率高。本发明还可实现多工位循环检测,提高批量检测效率。
Public/Granted literature
- CN114459697B 红外成像系统探测器封装杜瓦多工位检漏系统及方法 Public/Granted day:2023-12-26
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