PMUT结合MEMS压力传感器的超声换能器单元、阵列及制造方法
Abstract:
本发明公开一种PMUT结合MEMS压力传感器的超声换能器单元、阵列及制造方法,把MEMS压力传感器与PMUT超声换能器单片集成,将MEMS压力传感器的输出信号叠加进PMUT的输出信号,提升整体响应,增强超声探头的灵敏度。本发明同时公开所述PMUT结合MEMS压力传感器的超声换能器单元的制造方法,采用有源晶圆键合及减薄技术,将CMOS晶圆与MEMS压力传感器晶圆堆叠,进而制造PMUT‑on‑CMOS,实现垂直互连的三维立体架构,显著提高了芯片集成度。
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