摘要:
本发明公开了一种基于二维材料的高频电化学驱动器及其制备方法,该电化学驱动器为非对称膜结构,包括驱动材料和与驱动材料种类不同的异质材料;利用一步式激光辅助合成法在异质材料薄膜表面生长出一层均匀的、抗弯刚度可控的驱动材料。通过调控靶材成分、真空度、温度、激光的能量与脉冲频率等制备条件,可获得由二维材料超薄纳米球壳构成的高频驱动材料。突破了电化学驱动技术1Hz级的频率限制;通过将化学反应限制在超薄纳米球壳的表面及近表面处提升了电化学驱动器的响应速率。本发明电化学驱动器的最高工作频率可达30Hz、响应速率快、驱动位移大、工艺简单且成本低廉,其可推动电化学驱动技术在微型医疗器械和微型机器人组件中的应用。
公开/授权文献
- CN114499277A 一种基于二维材料的高频电化学驱动器及其制备方法 公开/授权日:2022-05-13