发明授权
- 专利标题: 制备金属管靶的装置、方法
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申请号: CN202210076639.2申请日: 2022-01-24
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公开(公告)号: CN114505482B公开(公告)日: 2024-08-02
- 发明人: 王玉杰 , 张佼 , 姜海涛 , 万祥辉 , 孙宝德
- 申请人: 昆山晶微新材料研究院有限公司 , 昆山祁御新材料科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市昆山市周市镇金茂路768号;
- 专利权人: 昆山晶微新材料研究院有限公司,昆山祁御新材料科技有限公司
- 当前专利权人: 昆山晶微新材料研究院有限公司,昆山祁御新材料科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市昆山市周市镇金茂路768号;
- 代理机构: 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
- 代理商 王丽莎
- 主分类号: B22F3/115
- IPC分类号: B22F3/115 ; B22F3/00 ; B22F5/12 ; B22D23/00 ; C23C4/18 ; C23C4/123 ; C23C4/16 ; C23C14/34
摘要:
本申请提供一种制备金属管靶的装置、方法,涉及金属管靶制备技术领域。该装置包括管靶模具、旋转支撑台、第一旋转驱动机构、升降机构和用于容纳熔体并能够将熔体进行喷射的喷射机构,管靶模为环状空心结构,用于容纳冷却液,且管靶模具具有圆筒状模具内壁以形成容纳空间,旋转支撑台设于容纳空间内;第一旋转驱动机构被构造成用于驱动旋转支撑台沿旋转轴线旋转;升降机构被构造成用于驱动第一旋转驱动机构升降,喷射机构固定设于旋转支撑台上,喷射机构的远离旋转轴线的一侧具有用于将熔体喷射至圆筒状模具内壁的喷射口。其能够改善现有技术中金属管靶组织疏松和孔隙较多的问题。
公开/授权文献
- CN114505482A 制备金属管靶的装置、方法 公开/授权日:2022-05-17