本发明公开一种高分辨率结构色器件的制备方法，涉及结构色器件技术领域。本发明的制备方法首先在衬底上沉积相变材料，退火得到具备相变材料膜层的衬底；通过旋涂切边烘干设备在相变材料膜层的上表面旋涂光刻胶，烘干、切边，将预先设置的超表面反结构图案转移到光刻胶上，显影曝光后得到超表面结构图案；在超表面结构图案上沉积金属薄膜，溶脱得到掩膜结构；对掩膜结构进行刻蚀，去除残余的金属掩膜材料，得到具备超表面结构的高分辨率结构色器件。本发明实现结构色器件高分辨率、高饱和度、广色域的色彩显示，增加了超表面的结构色显示质量，不易损坏脱落；适用于多功能显示、CMOS图像传感器、无油墨彩色印刷、信息加密等技术领域。