发明授权
- 专利标题： 探测基板、其制作方法及射线探测器
-
申请号： CN202011322997.4申请日： 2020-11-23
-
公开(公告)号： CN114530466B公开(公告)日： 2024-09-10
- 发明人: 尚建兴 , 侯学成 , 王振宇 , 刘自然 , 勇闯
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方传感技术有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方传感技术有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方传感技术有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 代理机构： 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 刘源
- 主分类号： H01L27/146
- IPC分类号： H01L27/146
摘要：
本公开提供了一种探测基板、其制作方法及射线探测器，包括：衬底基板；相互独立的多个第一电极，在衬底基板上同层设置；光电转换层，在多个第一电极背离衬底基板的一侧整面设置；射线吸收层，位于光电转换层背离多个第一电极的一侧，射线吸收层在衬底基板上的正投影，与各第一电极之间的间隙在衬底基板上的正投影相互交叠；第二电极，在光电转换层背离多个第一电极的一侧整面设置。
公开/授权文献
- CN114530466A 探测基板、其制作方法及射线探测器 公开/授权日：2022-05-24
IPC分类:
