本发明公开了一种基于联合法的设备缺陷检测方法，包括：选定探测区域，设置检测参数；沿探测区域横向移动，通过联合法完成缺陷检测和成像；沿探测区域纵向移动，通过联合法完成缺陷检测和成像；成像结果对比并进行合成，生成最终的缺陷检测图像；还公开了一种缺陷检测装置，包括：移动检测模块，包括若干对收发单元和若干爬波单元，用于收发超声波；处理模块，接收来自移动检测模块的超声波数据，经过计算分析形成缺陷检测图像。本发明在接收衍射波的同时，也接收反射波和爬波，用反射波和爬波的检测弥补衍射波检测难以分辨的检测对象近表面和根部缺陷，此外通过对同一个缺陷的反射波和衍射波的对比可以定位缺陷的水平位置。