发明授权
- 专利标题： 陶瓷基座
-
申请号： CN202180005660.7申请日： 2021-10-27
-
公开(公告)号： CN114557126B公开(公告)日： 2023-03-31
- 发明人: 李柱声 , 裵瀚音
- 申请人： 美科陶瓷科技有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 美科陶瓷科技有限公司
- 当前专利权人： 美科陶瓷科技有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 安玉; 宋玉环
- 优先权： 10-2020-0188893 20201231 KR
- 国际申请： PCT/KR2021/015160 2021.10.27
- 国际公布： WO2022/145668 KO 2022.07.07
- 进入国家日期： 2022-03-31
- 主分类号： H05B6/80
- IPC分类号： H05B6/80 ; H01L21/67
摘要：
本发明关于一种陶瓷基座。本发明的陶瓷基座包括：绝缘板，其上设置有高频电极；连接至该绝缘板的轴；连接至该轴的纵向端的连接座；连接至该高频电极的第一杆和第二杆，穿过该轴的该纵向端并延伸至该连接座，以及设置在该连接座中的连接构件，其中该连接构件连接该第一杆和该第二杆。
公开/授权文献
- CN114557126A 陶瓷基座 公开/授权日：2022-05-27
