发明公开
- 专利标题： 薄膜图案化的方法和显示面板的制备方法
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申请号： CN202011485217.8申请日： 2020-12-16
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公开(公告)号： CN114639600A公开(公告)日： 2022-06-17
- 发明人: 孟虎
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方技术开发有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方技术开发有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方技术开发有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 代理机构： 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 李迎亚; 姜春咸
- 主分类号： H01L21/302
- IPC分类号： H01L21/302 ; H01L21/28 ; H01L21/336 ; H01L27/32 ; G02F1/1333
摘要：
本公开提供一种薄膜图案化的方法和显示面板的制备方法，属于显示技术领域，本公开的薄膜图案化的方法，包括：在衬底基板上，通过构图工艺形成包括辅助结构的图形，以形成图案保留区和图案去除区；辅助结构至少与衬底基板接触表面的材料不同；在辅助结构的图形背离衬底基板的一侧形成第二薄膜层，并将图案去除区的第二薄膜层的材料去除，形成位于图案保留区的第二薄膜图案。本公开的薄膜图案化方法可以实现高深度比的图案，同时工艺简单。
公开/授权文献
- CN114639600B 薄膜图案化的方法和显示面板的制备方法 公开/授权日：2024-09-24
IPC分类:
